真空容器内セルフクリーニング方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010524
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224163
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】プラズマ堆積装置のセルフクリーニング終点検出を、安定かつ正確に行なうこと。【構成】プラズマ堆積装置のセルフクリーニング終点検出を、真空容器内の情報をもれなく反映するプロセスパラメータで行なう。具体的には、クリーニング中の真空容器内雰囲気の質量分析を行ない、特定な信号強度の経時変化から終点検出する方法、圧力の変化から終点検出する方法があり、各々四重極型質量分析計等、圧力計等で測定する。【効果】真空容器の大きさ,形状、非処理物の空間分布状態、測定装置の位置、空間分解能等を考慮することなく、安定かつ正確なセルフクリーニング終点検出が簡便に行なえる。また、その場観察にも適している。

請求項（抜粋）：

グロー放電を利用して基板上に物質を形成するプラズマ堆積装置の真空容器内を、グロー放電を利用して清浄化するセルフクリーニング方法において、セルフクリーニング時の終点検出を質量分析計によって行なうことを特徴とする真空容器内セルフクリーニング方法。

IPC (4件)：

H01L 21/302 , G02F 1/136 500 , H01L 21/205 , H01L 29/784

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-224232
特開昭63-215037
特開平4-127428

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