特許
J-GLOBAL ID：200903014917710844

化学気相蒸着炭化ケイ素材の製造方法

発明者：
岡田 雅樹

岡田 雅樹 について

, 
平野 博之

平野 博之 について


出願人/特許権者：
東洋炭素株式会社

東洋炭素株式会社 について


代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031519
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226574
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 クラックの発生率を非常に少なくして平板状CVD-炭化ケイ素材の製造歩留りを高め、結果として安価な平板状CVD-炭化ケイ素材を製造することのできる方法を提供する点にある。【解決手段】 高純度等方性黒鉛基材上の全面に化学気相蒸着により炭化ケイ素の被覆層を形成した後、前記黒鉛基材を除去して板状の化学気相蒸着炭化ケイ素材を製造する方法であって、前記黒鉛基材の平面側には、目的とする板状製品の寸法に相当する径の開口を有し、かつゆるやかに球面加工された底面を有する座ぐり凹部が形成されてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
高純度等方性黒鉛基材上の全面に化学気相蒸着により炭化ケイ素の被覆層を形成した後、前記黒鉛基材を除去して板状の化学気相蒸着炭化ケイ素材を製造する方法であって、前記黒鉛基材の平面側には、目的とする板状製品の寸法に相当する径の開口を有し、かつゆるやかに球面加工された底面を有する座ぐり凹部が形成されてなることを特徴とする化学気相蒸着炭化ケイ素材の製造方法。
IPC (4件)：
C04B 35/565 ,  B28B 1/30 ,  C04B 41/87 ,  C23C 16/42
FI (4件)：
C04B 35/56 101 N ,  B28B 1/30 ,  C04B 41/87 V ,  C23C 16/42
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開平4-321511
  • 特開昭61-242946
審査官引用 (3件)

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