気体用流量計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川好道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-316112
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122449
出願日： 2000年10月17日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】水素ガスのような低分子量の気体の流速や流量を計測する簡単な構造でコンパクトな流量計を実用化する。【解決手段】入口1と出口4の間を仕切る円筒形の透過膜3を透過して気体が流れる。透過膜3は平均孔径が数μmの微細孔を1cm2 当り数億個明けた樹脂製の多孔質膜である。透過膜3の前後の圧力P1 とP2 の差を差圧センサ8で電気信号に変換する。この電気信号に基づいて演算部9で流速を演算し、透過膜3の面積を掛けて流量を算出する。

請求項（抜粋）：

入口から出口に通じる流路と、該流路に配設されて入口と出口の間を仕切る多孔質の透過膜と、入口と出口の差圧を計測する差圧センサと、該差圧センサの信号に基づいて流体の流速又は流量を演算する演算部とを具備したことを特徴とする気体用流量計。

Fターム (2件)：

2F030CA04 , 2F030CC11

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭53-144371
特開昭53-144371
流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-041285 出願人：愛知時計電機株式会社

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