ウエハ処理廃液の処理システムと、その再生スラリー利用管理システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹中一宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375653
公開番号（公開出願番号）：特開2003-230880
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：

【要約】【課題】先行文献では、総括すると次のような課題がある。文献の濃縮膜ユニットでは、固液分離の精度が十分でないと思われること、またフィルターの目詰りの問題が発生すること、等の保守管理に問題を残す。また圧縮手段を備えないので、減容化の面で課題を残していると思われる。さらに遠心分離したクーラント成分を、粘度調整し、その後、直接再生水溶性クーラントとして利用するので、不要スラッジは、一回の遠心分離による作業であり、再利用できるスラリーの混入等があり、有効利用できていないこと、又は環境面で課題を残していると思われる。【要約】本発明は、ワイヤーソーに使用したウエハ処理廃液を、再生スラリーと、余剰クーラント液と、廃棄スラッジを含む溶液とに分離処理する遠心分離機と、分離された余剰クーラント液を、回収クーラント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機とで構成し、再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用する構成のウエハ処理廃液の処理システムである。ウエハ研磨液の固液分離精度の向上と、減容化が図れる。品質の優れた再生スラリーと、回収クーラント液が生成できる。再生スラリー、又は回収クーラント液の再利用が図れる。

請求項（抜粋）：

ウエハ処理廃液を、再生スラリーと、余剰クーラント液と、廃棄スラッジを含む溶液とに分離処理する遠心分離機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機とで構成し、前記再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用する構成のウエハ処理廃液の処理システム。

IPC (6件)：

C02F 1/38 ZAB , B01D 1/02 , B04B 1/20 , B24B 57/02 , C02F 11/12 , H01L 21/304 622

FI (6件)：

C02F 1/38 ZAB , B01D 1/02 , B04B 1/20 , B24B 57/02 , C02F 11/12 B , H01L 21/304 622 E

Fターム (38件)：

3C047FF06 , 3C047FF08 , 3C047GG14 , 3C047GG17 , 4D037AA13 , 4D037AB02 , 4D037AB18 , 4D037BA28 , 4D037BB01 , 4D037BB02 , 4D057AA09 , 4D057AA10 , 4D057AB01 , 4D057AC01 , 4D057AC06 , 4D057AD01 , 4D057AD05 , 4D057AE03 , 4D057AF05 , 4D057CA00 , 4D057CA02 , 4D057CB01 , 4D059AA30 , 4D059BD11 , 4D059BD19 , 4D059BD24 , 4D059BD40 , 4D059CA28 , 4D059CB01 , 4D076AA02 , 4D076AA16 , 4D076AA22 , 4D076BA05 , 4D076BC03 , 4D076FA20 , 4D076FA22 , 4D076FA31 , 4D076HA06

引用特許：

審査官引用 (5件)

水溶性スラリー廃液の再利用システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-033567 出願人：信越半導体株式会社, 三益半導体工業株式会社, 大智化学産業株式会社, 日立造船メタルワークス株式会社
ワイヤソー砥粒スラリーの再利用システムと、その遠心分離機
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-098464 出願人：株式会社イーアンドイー
特開昭60-080561

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