特許
J-GLOBAL ID：200903014949579111

時間分解反射測定方法およびテラヘルツ時間分解反射測定装置

発明者：
宇佐見 護

宇佐見 護 について


出願人/特許権者：
株式会社栃木ニコン

株式会社栃木ニコン について

, 
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-366951
公開番号（公開出願番号）：特開2004-198250
出願日： 2002年12月18日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】容易に正確な位相情報を得ることができる時間分解反射測定方法の提供。【解決手段】平行平板試料9にテラヘルツパルス光L4を照射し、試料9からの反射テラヘルツパルス光L5の時系列波形を検出して試料9の特性を測定する時間分解反射測定方法に関する。そして、反射テラヘルツパルス光L5に含まれる試料入射面での前記反射パルス光を参照信号とし、反射テラヘルツパルス光L5から反射パルス光を除いた差分信号を試料信号とし、参照信号および試料信号に基づいて試料9の特性を測定する。その結果、参照用鏡等を用いた測定を行うことなく、位相情報を容易にかつ正確に測定することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平行平板試料にパルス光を照射し、前記試料からの反射光の時系列波形を検出して前記試料の特性を測定する時間分解反射測定方法において、 前記反射光の時系列波形に含まれる前記試料入射面での反射パルス光を参照信号とし、前記反射光の時系列波形から前記反射パルス光を除いた差分信号を試料信号とし、前記参照信号および前記試料信号に基づいて前記試料の特性を測定することを特徴とする時間分解反射測定方法。
IPC (2件)：
G01N21/35 ,  G01J3/28
FI (2件)：
G01N21/35 Z ,  G01J3/28
Fターム (26件)：
2G020AA03 ,  2G020CA14 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CD04 ,  2G020CD12 ,  2G020CD24 ,  2G020CD35 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G065AA12 ,  2G065AB02 ,  2G065AB09 ,  2G065AB16 ,  2G065AB23 ,  2G065BA02 ,  2G065BB12
引用特許：
審査官引用 (1件)
引用文献：
審査官引用 (4件)
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