特許
J-GLOBAL ID：200903014963080596
超硬質膜被覆部材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 秀實 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-180663
公開番号（公開出願番号）：特開平9-012397
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、ダイヤモンド等の超硬質膜と超硬合金基材が強固に付着した超硬質膜被覆部材を製造する方法を提供しようとするものである。【構成】 超硬合金の基材5を、炭素原子を含む雰囲気中で熱処理する工程と、該熱処理基材を加熱水素雰囲気中でクリーニングする工程と、該クリーニングした表面上に気相合成法によりダイヤモンド等の超硬質膜を生成する工程とを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
炭素原子が存在する雰囲気で超硬合金基材表面に熱処理を施す工程と、該熱処理基材を加熱水素雰囲気中でクリーニングする工程と、該クリーニング基材表面に気相合成法によりダイヤモンド及びまたはダイヤモンド状炭素を生成する工程とを具備してなることを特徴とする超硬質膜被覆部材の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C30B 29/04 A
, C30B 29/04 X
, C23C 16/26
