特許

J-GLOBAL ID：200903014971495606

光散乱検査システムの構成を決定するためのコンピュータに実装された方法およびシステム

発明者： アレクサンダー ベリアエブ ,  ダニエル カバルジェブ ,  エイミス ムラリ ,  アレクセイ ペトレンコ ,  マイク ディー キーク ,  デビット ショート ,  ブリアン エル ハース ,  カート エル ハラー
出願人/特許権者： ケイエルエイ-テンコー・テクノロジーズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 藤岡 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-097606
公開番号（公開出願番号）：特開2007-279040
出願日： 2007年04月03日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

【課題】検査システムによるウェーハの測定を行わずに、光散乱検査システムの構成を決定するシステムを提供することを課題とする。【解決手段】光散乱検査システムの構成を決定するためのコンピュータに実装された方法およびシステムが提供されている。一つのコンピュータに実装された方法は、検査システムの散乱半球全体に亘って、光散乱検査システムによって試験体および試験体の電位欠陥に対して取得されるであろうデータに対して、信号対雑音比値の三次元マップを決定することを含んでいる。この方法は、三次元マップに基づいて、信号対雑音比値が散乱半球の他の部分よりも高い、散乱半球の一つまたはそれ以上の部分を決定することも含んでいる。また、この方法は、散乱半球の一つまたはそれ以上の部分に基づいて、検査システムの検出サブシステムの構成を決定することを含んでいる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光散乱検査システムの構成を決定するためのコンピュータに実装された方法において、 検査システムの散乱半球全体に亘る光散乱検査システムによって、試験体および試験体の電位欠陥に対して取得されるであろうデータに対して、信号対雑音比値の三次元マップを決定することと、 三次元マップに基づいて、信号対雑音比値が散乱半球の他の部分よりも高い、散乱半球の一つまたはそれ以上の部分を決定することと、 散乱半球の一つまたはそれ以上の部分に基づいて、検査システムの検出サブシステムの構成を決定することと、 を含むことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (18件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051CA01 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051CC17 ,  4M106AA01 ,  4M106AA13 ,  4M106BA04 ,  4M106CA41 ,  4M106CA46 ,  4M106DA15 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 不良検出システムの改良
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-579784   出願人：ケーエルエー-テンカーコーポレイション
• 表面検査方法及び表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-088555   出願人：株式会社トプコン, 富士通株式会社
• 基板の表面に発生する粒子の材料を識別する方法と装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-121992   出願人：エイド・オプティカル・システムズ・コーポレイション