特許
J-GLOBAL ID：200903014981359476
スイッチドキャパシタアレイ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-169605
公開番号（公開出願番号）：特開平11-068050
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 金属相互接続及び誘電体酸化物段階上の金属オーバーラップのためのキャパシタ上部プレートの寄生が最小化できるスイッチドキャパシタアレイを提供する。【解決手段】 2進加重されたキャパシタアレイは、充電分布型アナログ/ディジタル又は、ディジタル/アナログ変換器、スイッチドキャパシタフィルタ等に使用される。このキャパシタは、一列に所定の間隔を置いて配列される。このような1列のキャパシタアレイは、各々の相互接続金属ラインが一定の長さを有するようにスイッチアレイと並列に配列される。この所定の距離を置いたレイアウトは、金属相互接続及び誘電体酸化物段階上の金属オーバーラップのための上部プレート寄生エラーだけではなく、酸化物厚さ傾斜及びエッジ解像力エラーを完全に除去する。
請求項（抜粋）：
充電分布型アナログ/ディジタル変換器、充電分布型ディジタル/アナログ変換器、及びスイッチドキャパシタフィルターで構成されたスイッチドキャパシタアレイにおいて、所定の方向に、一列に配列された複数のスイッチアレイと、前記所定の方向に、一列に配列された複数のキャパシタアレイと、複数の相互接続ラインを含むが、複数の相互接続ラインが各々対応するスイッチとキャパシタとの間に結合されるによって、各々の前記相互接続ラインが均一の長さを有することを特徴とするスイッチドキャパシタアレイ。
IPC (4件)：
H01L 27/04
, H01L 21/822
, H01L 21/8249
, H01L 27/06
H01L 27/04 C
, H01L 27/06 321 J
