特許

J-GLOBAL ID：200903015038490063

FETを基礎とするガスセンサ

発明者： フライシャー・マキシミリアン ,  ランペ・ウヴェ ,  マイクスナー・ハンス ,  ポーレ・ローラント ,  ジーモン・エルフリーデ
出願人/特許権者： マイクロナス ゲーエムベーハー
代理人 (2件)： 中川 裕幸 ,  反町 行良
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-508846
公開番号（公開出願番号）：特表2007-533987
出願日： 2005年04月21日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：

仕事関数の変化により電界効果構造が制御されるガス感応層と参照層とから成るFETを基礎とするガスセンサであって、その際、これら2つの層の材料が、ターゲットガスに対する仕事関数の変化は起こらず、検出すべきでないガスに対する仕事関数の変化が総和で消えるように相互に調整されている。

請求項（抜粋）：

ガス吹込みにより生じる各層材料における仕事関数の変化が電界効果構造の制御に使用される、少なくとも1つの電界効果トランジスタならびにガス感応層および参照層から成るFETを基礎とするガスセンサであって、その際、これら2つの層の材料が、 -ガス感応層と参照層のそれぞれのガス感度が検出すべきガスまたは少なくとも1種の妨害ガスに対して異なっているか、あるいは -これらが検出すべきガスに対しても、少なくとも1種の妨害ガスに対しても異なっており、かつ -これら2つの層の信号の演算によって演算した信号を得ることができ、この演算した信号が検出すべきガスに対するセンサ全体のガス感度に関して、妨害信号に対するガス感応層の信号よりも妨害信号に対してより大きな隔たりを示す ように相互に調整されている、FETを基礎とするガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/00

FI (1件)：

G01N27/00 J

Fターム (6件)：

2G060AA01 ,  2G060AB09 ,  2G060DA07 ,  2G060DA10 ,  2G060DA14 ,  2G060DA19

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ドイツ特許出願公開第19814857号明細書
  
• ドイツ特許第19956744号明細書
  
• ドイツ特許第19956806号明細書
  
• ドイツ特許第19926747号明細書
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-237347
  
• ガス感応性積層体及びその製造方法並びにガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-297325   出願人：日本特殊陶業株式会社
• イオン非感応電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-283493   出願人：シロキ工業株式会社