特許
J-GLOBAL ID：200903015041781540
真空排気弁
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025775
公開番号（公開出願番号）：特開2001-214987
出願日： 2000年02月02日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：
【要約】【課題】 接ガス面を効果的に加熱することができて排ガスから副生成物が発生して付着するのを防止することができ、また、加熱手段の損傷を防止することができて耐久性の向上、信頼性の向上等を図ることができるようにした真空排気弁を提供する。【解決手段】 内部加熱手段68と外部加熱手段81を備える。内部加熱手段68は、ベローズ38の内方で定位置に設けられたヒータスリーブ69、絶縁材にヒータ線を埋設し、ヒータスリーブ69の外面を被覆するように設けられた面状ヒータ73、弁体15の背面側に端部において接触し、ヒータスリーブ69の内側に筒状部72において伸縮可能に設けられ、面状ヒータ73からの発熱に伴い、ヒータスリーブ69を介して輻射熱で弁体15を加熱するヒータベース30を有する。外部加熱手段81は、絶縁材にヒータ線を埋設し、弁箱1の外面を被覆するように設けられた面状ヒータ82を有する。
請求項（抜粋）：
流路、この流路の途中に弁座を有する弁箱と、上記弁座の穴を開放し、若しくは遮断する弁体と、この弁体を作動させる弁体作動部材と、上記弁体の背方において、上記弁体作動部材の外周部に設けられたシール用のベローズと、上記弁体作動部材および上記弁体を駆動し得るアクチュエータと、上記ベローズの内方で定位置に設けられたヒータスリーブ、絶縁材にヒータ線を埋設し、上記ヒータスリーブの外面を被覆するように設けられた面状ヒータ、上記弁体の背面側に端部において接触し、上記ヒータスリーブの内側に筒状部において伸縮可能に設けられ、上記面状ヒータからの発熱に伴い、上記ヒータスリーブを介して輻射熱で上記弁体を加熱するヒータベースを有する内部加熱手段と、絶縁材にヒータ線を埋設し、上記弁箱の外面を被覆するように設けられた面状ヒータを有する外部加熱手段とを備えた真空排気弁。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 49/00 B
, F16K 51/02 A
3H066AA01
, 3H066BA13
, 3H066BA36
, 3H066DA11
