流体圧制御弁

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254144
公開番号（公開出願番号）：特開平11-082807
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】局所的に温度の低い部分が本体の内部に発生しないような加熱を行うことによって、本体の内部に生成物が付着することによる弁閉時のシール性能の低下を防止した流体圧制御弁を提供すること。【解決手段】真空弁1は、本体10に内在する弁棒11の中に取り付けられたフレキシブルヒーター20により、本体10の内部から本体10の外部に向かって温度勾配が形成され、フレキシブルヒーター20の熱が本体10の内部から本体10の外部に向かって移動することによって全体が加熱されており、局所的に温度の低い部分が本体10の内部に発生しないような加熱を行っているので、本体10の内部に生成物が付着することがなく、かかる生成物の付着による弁閉時のシール性能の低下を防止することができる。

請求項（抜粋）：

本体に内在するとともにスプリングで弁開方向に付勢された弁棒を、前記本体に外在する駆動部で弁閉方向に押動することにより、弁開と弁閉を行う流体圧制御弁において、前記本体の内部から外部に向かって傾く温度勾配を自在に形成する第1ヒーターを前記弁棒内に取り付けたことを特徴とする流体圧制御弁。

IPC (2件)：

F16K 49/00 , F16K 31/122

FI (2件)：

F16K 49/00 B , F16K 31/122

引用特許：

審査官引用 (9件)

ヒーティング機能付真空弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-111243 出願人：シーケーディ株式会社
特開昭57-051065
特開平1-188786

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