特許

J-GLOBAL ID：200903015058276661

キャリア搬送装置

発明者： 西 正博 ,  渡辺 義雄 ,  小島 忠幸 ,  柳川 昌史 ,  石崎 恭弘 ,  志村 敏克
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-112173
公開番号（公開出願番号）：特開平10-297710
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 半導体素子を形成した基板を収納するキャリア搬送装置に関し、小さい面積に設置することができ、キャリアの搬送を短時間に行うことが可能となるキャリア搬送装置の提供を目的とする。【解決手段】 キャリア1を工程間で搬送する搬送台車2と、工程内搬送台車5とを有するキャリア搬送装置であって、この工程内搬送台車5は、このキャリア1をこの搬送台車2からこの工程内に搬入して処理装置6に搬送し、或いはこのキャリア1を保管棚4の各棚に収納するものであって、このキャリア1をこの搬送台車2からこの工程内搬送台車5に移載する移載機構部と、この移載機構部を上下させる昇降機構5bとを有するように構成する。

請求項（抜粋）：

キャリアを工程間で搬送する搬送台車と、工程内搬送台車とを有するキャリア搬送装置であって、前記工程内搬送台車は、該キャリアを前記搬送台車から前記工程内に搬入して処理装置に搬送し、或いは該キャリアを保管棚に収納するものであって、前記キャリアを前記搬送台車から前記工程内搬送台車に移載する移載機構部と、該移載機構部を上下させる昇降機構とを有することを特徴とするキャリア搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 1/00 501 ,  B65G 1/04 501 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 1/00 501 C ,  B65G 1/04 501 ,  B65G 49/07 L ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 自動保管棚装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-154873   出願人：日本電気株式会社
• 搬送設備
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-121626   出願人：株式会社ダイフク