特許

J-GLOBAL ID：200903015076845517

基板検査装置用吸引式基板固定具

発明者： 金井 敏彦 ,  石川 弘高
出願人/特許権者： 日置電機株式会社
代理人 (1件)： 柳沢 大作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267738
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089997
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 プラスチック基板のスルホール位置等に合わせた専用部材を使用する必要がなく、セラミック基板にも対応可能にし、優れた基板吸着力を発揮する。【解決手段】 基板装着面42とその相対する面に各口がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる基板装着板34を備え、その基板装着板34で閉じる空気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる吸引用大径貫通孔を設ける。そして、基板装着板34の上に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板40を重ねて備え、その多孔質板40を検査時に基板46と基板装着板34との間に介在する。

請求項（抜粋）：

基板装着面とその相対する面に各口がそれぞれ臨む多数の吸引用小径貫通孔を配設してなる基板装着板を備え、その基板装着板で閉じる空気室を有し、その空気室壁に外部の真空ポンプと通じる吸引用大径貫通孔を設けてなる基板検査装置用吸引式基板固定具において、上記基板装着板の基板装着面上に無数の空気透過性微孔を有する多孔質板を重ねて備え、その多孔質板を検査時に基板と基板装着板間に介在することを特徴とする基板検査装置用吸引式基板固定具。

IPC (3件)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02

FI (3件)：

G01R 31/28 J ,  G01R 31/00 ,  G01R 31/02

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-230542
  
• 特開昭59-208741
  
• 半導体装置の検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-301418   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平3-230542
  
• 特開昭59-208741