磁性流体シール装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339715
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149443
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】シール部の破壊によって生じた磁性流体の粒体が低圧雰囲気に流入することを防止できる磁性流体シール装置を提供すること。【構成】駆動軸34は、大気圧側より低圧雰囲気側のチャンバー10内部に貫通して配置される。この貫通部分のシール装置40は、ポールピース44およびマグネット46を駆動軸34の周囲に交互に配列し、ポールピースの両端突起部と駆動軸34との間に、磁性流体48をマグネット46の磁束により保持することで、多段のシール部52a〜52fが形成される。また、隣接するシール部の間には、空間54a〜54eが形成される。低圧雰囲気側の第1段目の空間54aは、孔44a,42a,連通路60および貫通孔10aを介して、チャンバー10内部と連通している。連通路60の途中には、磁性流体48の粒体の通過を阻止し、且つ、第1段目のシール部52aの耐圧よりも小さい動作圧力のフィルタ68が配置される。

請求項（抜粋）：

高圧雰囲気と低圧雰囲気との間を、多段の磁性流体シール部によりシールする磁性流体シール装置において、前記低圧雰囲気側の第1段目及び第2段目の磁性流体シール部間の室内と、前記低圧雰囲気とを連通させる連通路と、前記連通路途中に配置され、磁性流体の粒体を捕捉し、かつ、前記第1段目の磁性流体シール部の耐圧よりも低い動作圧力のフィルタと、を有することを特徴とする磁性流体シール装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

磁性流体軸封装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-188132 出願人：理学電機株式会社

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