特許
J-GLOBAL ID:200903015084937072
液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-209954
公開番号(公開出願番号):特開2000-047163
出願日: 1998年07月24日
公開日(公表日): 2000年02月18日
要約:
【要約】【課題】 効率的かつ確実に欠陥画素の修正を行うことができる液晶パネルの画素欠陥修正方法及び修正装置を提供する。【解決手段】 液晶パネルの検査時には、液晶パネルを加熱することによって欠陥画素の検出を容易化することができる。本発明では、液晶パネル1に対して、CCDビデオカメラ20等による検査のための手段と、レーザ発振器22等による修正のための手段を備えている画素欠陥修正装置において、XYステージ2上に設置された被修正対象である液晶パネル1に対して、温風供給器40が設けられている。このような構成によって、検査時及び修正後の再検査時に温風によって液晶パネル1を加熱することが可能となり、単一の装置によって検査、修正及び再検査の3つの工程を効率良くかつ確実に行うことができる。
請求項(抜粋):
液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、前記欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正方法において、前記液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、前記欠陥画素の検出を行う検査工程と、検出された前記欠陥画素の位置とレーザ光の照射位置とが対応するように、前記液晶パネルの位置合わせを行った後、レーザ光を照射して前記液晶パネルの前記欠陥画素の修正を行う修正工程と、修正が行われた前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、修正が行われた前記欠陥画素の再検査を行う再検査工程と、を備え、前記検査工程、前記修正工程及び前記再検査工程の全工程は、前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする液晶パネルの画素欠陥修正方法。
IPC (4件):
G02F 1/13 101
, G01M 11/00
, G02F 1/1343
, G09F 9/00 338
FI (4件):
G02F 1/13 101
, G01M 11/00 T
, G02F 1/1343
, G09F 9/00 338
Fターム (23件):
2G086EE01
, 2G086EE09
, 2G086EE10
, 2G086EE11
, 2H088FA14
, 2H088FA30
, 2H088HA06
, 2H088HA13
, 2H088HA14
, 2H088HA18
, 2H088HA21
, 2H088HA24
, 2H088MA20
, 2H092MA46
, 2H092NA30
, 2H092PA06
, 2H092PA08
, 2H092PA09
, 2H092PA11
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435KK05
, 5G435KK10
引用特許: