特許

J-GLOBAL ID：200903015089380882

導電性反射膜及び電子線励起発光装置

発明者： 林 茂生 ,  西谷 輝 ,  任田 隆夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321389
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162493
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】 100%に近い高反射率をもち、電子線照射時にもチャージアップ現象の起こらない反射膜を得るとともに、同時に光を吸収しない反射膜を得ることを目的とする。【解決手段】 低屈折率の透明性を有する誘電体であるSiO2膜12と高屈折率の透明導電体であるITO13の多層構造体を形成し、それぞれの膜厚が光の波長の1/4n(nは屈折率)とする。また、光の入射する表面を透明導電体とすることにより、チャージアップを防止することができる。さらに、誘電体を二酸化硅素、フッ化マグネシウム、クライオライト(氷晶石、Na3AlF6)のうちから選ばれるいづれかとすることにより光損失を抑制することができる。

請求項（抜粋）：

透明性を有する誘電体と前記誘電体と屈折率が異なり透明性を有する透明導電体の積層構造体からなる導電性反射膜。

IPC (11件)：

H01S 3/18 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  G09F 9/30 360 ,  H01J 1/70 ,  H01J 29/28

FI (11件)：

H01S 3/18 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 7/02 104 ,  B32B 9/00 A ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  G09F 9/30 360 ,  H01J 1/70 ,  H01J 29/28 ,  G02B 1/10 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭61-057901
  
• 面発光半導体レーザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-101065   出願人：株式会社日立製作所
• 面発光半導体レーザ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-267473   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平4-133004
  
• 特開昭59-003852