特許
J-GLOBAL ID：200903015101528440
現像液のリサイクル供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-265164
公開番号（公開出願番号）：特開2004-101999
出願日： 2002年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】現像プロセスから回収された現像液を一定濃度に再調節して再び現像プロセスに供給する装置であって、一層正確に濃度調節された現像液を現像プロセスへ供給し得ると共に、現像液の回収率を高め得る現像液のリサイクル供給装置を提供する。【解決手段】現像液のリサイクル供給装置は、供給すべき現像液を貯留する供給貯槽(1)、回収した使用済現像液を精製して供給貯槽(1)に送液する回収液精製機構(2)、現像液原液を供給貯槽に送液する原液供給機構(3)、精製現像液のアルカリ濃度および樹脂濃度を超音波伝播速度と電磁導電率によって検出する特定の濃度計(5)とを備えている。そして、濃度計(5)による検出濃度に基づき、現像液原液の送液ならびに精製現像液の送液をを制御可能になされている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アルカリ水溶液から成る現像液を現像プロセスから回収して精製すると共にこれを再び現像プロセスに供給する現像液のリサイクル供給装置であって、供給すべき現像液を貯留する供給貯槽と、回収された現像液を精製し且つ一定温度に調節して前記供給貯槽に送液する回収液精製機構と、新たな現像液原液を前記供給貯槽に送液する原液供給機構と、前記回収液精製機構によって送液される一定温度の現像液のアルカリ濃度および樹脂濃度を検出する濃度計とを備え、かつ、前記回収液精製機構は、回収された現像液から樹脂成分を分離除去する分離膜含み、前記濃度計は、現像液における超音波伝播速度および現像液の電磁導電率を計測し、予め作成された所定温度および所定濃度における超音波伝播速度と電磁導電率との関係に基づき、アルカリ濃度および樹脂濃度を検出する多成分濃度計であり、そして、前記濃度計による検出濃度に基づき、前記原液供給機構による現像液原液の送液ならびに前記回収液精製機構による精製現像液の送液を制御可能になされていることを特徴とする現像液のリサイクル供給装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2H096AA26
, 2H096AA27
, 2H096GA21
, 2H096LA19
