特許
J-GLOBAL ID：200903057668773823

フォトレジスト現像廃液からの現像液の回収再利用方法及び装置

発明者：
菅原 広

菅原 広 について


出願人/特許権者：
オルガノ株式会社

オルガノ株式会社 について


代理人 (1件)： 三浦 進二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-309606
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138150
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：
【要約】【課題】 フォトレジスト現像廃液から回収した水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)含有溶液の界面活性効果(濡れ性)を適正に調整、管理し、フォトレジストの(微細)パターンを安定して効果的に現像することのできる再生現像液を与える。【解決手段】 現像廃液からフォトレジスト等の不純物を分離し、回収されたTAAH溶液と界面活性物質を混合し、所定の表面張力に調整した後、再生現像液として再利用する。界面活性物質としては、界面活性剤や現像廃液やそれに由来するフォトレジスト含有処理液等のフォトレジスト含有溶液に含まれる溶解フォトレジストを利用することができる。回収されたTAAH含有溶液とフォトレジスト含有溶液を混合する場合、再生現像液調整方法としては、例えば、回収TAAH含有溶液とフォトレジスト含有溶液を混合した後、或いは混合しながらTAAH濃度の調整を行う方法、回収TAAH含有溶液及びフォトレジスト含有溶液それぞれのTAAH濃度を調整してから両溶液を適正な割合で混合する方法などが挙げられる。
請求項（抜粋）：
フォトレジスト現像廃液からフォトレジスト等の不純物を分離し、水酸化テトラアルキルアンモニウム溶液を回収再利用するに当たって、回収された水酸化テトラアルキルアンモニウム溶液と界面活性物質を混合することを特徴とするフォトレジスト現像廃液からの現像液の回収再利用方法。
IPC (12件)：
H01L 21/027 ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/44 500 ,  B01J 41/04 ,  B01J 45/00 ,  C02F 1/42 ZAB ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/461 ,  C02F 1/469 ,  G03D 3/00 ,  G03D 13/00 ,  G03F 7/40
FI (12件)：
H01L 21/30 569 E ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/44 500 ,  B01J 41/04 J ,  B01J 45/00 H ,  C02F 1/42 ZAB D ,  C02F 1/44 F ,  G03D 3/00 F ,  G03D 13/00 T ,  G03F 7/40 ,  C02F 1/46 101 C ,  C02F 1/46 103
Fターム (65件)：
2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096GA09 ,  2H096GA11 ,  2H096LA25 ,  2H098BA37 ,  2H112EA19 ,  4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006GA17 ,  4D006HA47 ,  4D006JA42A ,  4D006JA42C ,  4D006JA56A ,  4D006JA70A ,  4D006KA02 ,  4D006KA63 ,  4D006KB11 ,  4D006KB30 ,  4D006KD03 ,  4D006KD17 ,  4D006KE01P ,  4D006KE01Q ,  4D006KE15Q ,  4D006KE15R ,  4D006MA03 ,  4D006MA13 ,  4D006MA14 ,  4D006MA22 ,  4D006MA40 ,  4D006MC22X ,  4D006MC23X ,  4D006MC30X ,  4D006PB08 ,  4D006PB20 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01 ,  4D025AA09 ,  4D025AB38 ,  4D025BA09 ,  4D025BA10 ,  4D025BA11 ,  4D025BA12 ,  4D025BA14 ,  4D025BA16 ,  4D025BA17 ,  4D025BB03 ,  4D025BB04 ,  4D025DA05 ,  4D025DA10 ,  4D061DA08 ,  4D061DC09 ,  4D061EA02 ,  4D061EA09 ,  4D061EB13 ,  4D061EB19 ,  4D061EB29 ,  4D061EB30 ,  4D061EB31 ,  4D061EB35 ,  4D061FA08 ,  4D061FA13 ,  5F046LA00 ,  5F046LA12
引用特許：
審査官引用 (9件)
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