特許
J-GLOBAL ID：200903015113325880
プローブ装置、走査型プローブ顕微鏡および試料表示方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
宮崎 昭夫
, 岩田 慎一
, 緒方 雅昭
, 石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-407551
公開番号（公開出願番号）：特開2005-164544
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】 プローブ先端と試料との間の距離を示す情報を得るための構成の簡略化を図ることが可能なプローブ装置、走査型プローブ顕微鏡および試料表示方法を提供する。【解決手段】 プローブ先端としての先端3aを有する金属ワイア3は、ホルダー9と水晶振動子4とで保持されている。水晶振動子4は、圧電効果により自己の振動を示す振動情報を出力する。金属ワイア3と水晶振動子4とからなる共振器は共振によ振動するが、先端3aと試料1との間の相互作用により、先端3aと試料1との間の距離に応じた力を受けるので、共振器の振動は、先端3aと試料1との間の距離に応じて変動する。このため、水晶振動子4が出力する振動情報は、先端3aと試料1との間の距離を示す。よって、従来、先端3aと試料1との間の距離を示す情報を得るために必要であった投光器と受光器とを不要にできる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料とプローブ先端との距離を示す距離情報を出力するプローブ装置であって、
前記プローブ先端としての先鋭化された一端が前記試料と対向するように設けられ、かつ、該一端と該試料との間の距離に応じた力を受ける検出部と、
前記検出部の第1箇所を保持する保持部と、
前記検出部の第1箇所と異なる第2箇所を保持し、かつ、入力される駆動信号に基づいて共振するとともに該共振に基づいた振動を示す振動情報を前記距離情報として出力する圧電素子とを含み、
前記検出部のバネ定数が、前記圧電素子のバネ定数の10%以下であることを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
G01N13/10
, G01B7/00
, G01N13/16
G01N13/10 C
, G01B7/00 K
, G01N13/16 A
2F063AA02
, 2F063AA41
, 2F063CA34
, 2F063DA01
, 2F063DA05
, 2F063DD08
, 2F063EB01
, 2F063HA04
