特許
J-GLOBAL ID:200903015120497718
2軸レ-ザ加工機
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
後藤 洋介 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-369301
公開番号(公開出願番号):特開2000-190087
出願日: 1998年12月25日
公開日(公表日): 2000年07月11日
要約:
【要約】【課題】 安価で小型の2軸レーザ加工機を提供する。【解決手段】 CO2ガスレーザ発振器11からのレーザ光を、偏光ビームスプリッタ12でP波とS波とに分岐させる。P波は、第1のガルバノスキャナ16に入射する。S波は、ミラー13,14を介して、第2のガルバノスキャナ17に入射する。第1のガルバノスキャナから出射したP波及び第2のガルバノスキャナから出射したS波は、偏光ミキサー18によって、ともにfθレンズ19に入射させられる。fθレンズは、入射したP波及びS波をそれぞれ被加工物15の目標位置に垂直入射させる。
請求項(抜粋):
レーザ光を発生するレーザ発振器と、前記レーザ光を2分岐するビームスプリッタと、該ビームスプリッタによって分岐された前記レーザ光をそれぞれ走査するための第1及び第2のガルバノスキャナと、前記第1及び前記第2のガルバノスキャナからのレーザ光を被加工物に垂直に照射するためのfθレンズと、前記第1及び前記第2のガルバノスキャナからのレーザ光をともに前記fθレンズに入射させるためのミキサーと、を備えたことを特徴とする2軸レーザ加工機。
IPC (5件):
B23K 26/06
, B23K 26/00 330
, H01S 3/00
, H01S 3/101
, H05K 3/00
FI (5件):
B23K 26/06 C
, B23K 26/00 330
, H01S 3/00 B
, H01S 3/101
, H05K 3/00 N
Fターム (13件):
4E068AF00
, 4E068CD03
, 4E068CD08
, 4E068CK01
, 4E068DA11
, 5F072AA05
, 5F072JJ01
, 5F072JJ08
, 5F072KK15
, 5F072KK30
, 5F072MM01
, 5F072MM11
, 5F072YY06
引用特許:
審査官引用 (1件)
-
レーザ加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-207897
出願人:松下電器産業株式会社
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