露光装置用マスクステージ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-002065
公開番号（公開出願番号）：特開2006-189669
出願日： 2005年01月07日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：

【課題】露光装置用マスクステージの部材を軽量で高剛性のものとすることで、自重たわみによる基板とマスクステージの間の隙間が生ずることがなくなるようにして、良好に酸化防止用の気体を収容することが可能とする。【解決手段】微細なパターンをフォトリソグラフィーにより基板のレジストに転写する露光装置に搭載されるマスクステージであって、該基板のレジストの酸化防止をするための気体を収容するマスクステージがセラミックス-金属複合材料からなり、かつ、該セラミックス-金属複合材の表面に緻密質の膜が形成されていることを特徴とする露光装置用マスクステージ。ここで、前記セラミックス-金属複合材料のセラミックス強化材がSiCであり、金属マトリックスがAl合金であり、かつ、該セラミックス強化材の含有率が40〜80体積%であることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

微細なパターンをフォトリソグラフィーにより基板のレジストに転写する露光装置に搭載されるマスクステージであって、該基板のレジストの酸化防止をするための気体を収容するマスクステージがセラミックス-金属複合材料からなり、かつ、該セラミックス-金属複合材の表面に緻密質の膜が形成されていることを特徴とする露光装置用マスクステージ。

IPC (2件)：

G03F 7/20 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F7/20 501 , H01L21/30 503A

Fターム (7件)：

2H097GA22 , 2H097GA27 , 2H097GA45 , 2H097LA12 , 5F046BA02 , 5F046CC02 , 5F046CC20

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-276155 出願人：株式会社トプコン

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