特許

J-GLOBAL ID：200903015176577811

微小容量測定システム及びプロービングシステム

発明者： 廣田 良浩 ,  松本 俊行
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-226931
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055956
出願日： 1998年08月11日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 シールドボックス11内の寄生容量やその変動の影響を除去して被測定容量の容量値を測定すること。【解決手段】 微小容量測定システムは、プローバ1と、一端が被測定試料と接触する信号線と、信号線を包囲するシールド線と、容量測定回路6とを備え、容量測定回路6は、信号線の他端が接続された反転入力端子とシールド線が接続された非反転入力端子とを有し、反転入力端子と非反転入力端子との間がイマジナリ・ショートの状態であり、非反転入力端子に交流信号を印加したとき、被測定試料の静電容量に対応する値を持つ信号を出力する演算増幅器61を備える。シールドボックス11の導電性部分、スタンド13の導電性部分、被測定試料とスタンド13とが接する面及びシールド線は同電位とされる。

請求項（抜粋）：

ボックスと、前記ボックス内に被測定試料を配置したプローバであって、一端が前記被測定試料と接触させるための検出端子となされた信号線と、前記信号線を包囲するシールド線とを含むプローバと、前記ボックスの導電性部分又は前記被測定試料の所定の導電性部分の少なくとも一方と前記シールド線とを同電位とする手段と、前記信号線の他端が接続された反転入力端子と前記シールド線が接続された非反転入力端子とを有し、前記反転入力端子と前記非反転入力端子との間がイマジナリ・ショートの状態であり、前記非反転入力端子に交流信号を印加したとき、前記被測定試料の静電容量に対応する値を持つ信号を出力する演算増幅器を備える容量測定回路と、を具備することを特徴とする微小容量測定システム。

Fターム (22件)：

2G028AA01 ,  2G028AA04 ,  2G028BB13 ,  2G028BC01 ,  2G028BD05 ,  2G028BF08 ,  2G028CG06 ,  2G028CG07 ,  2G028CG08 ,  2G028CG11 ,  2G028CG18 ,  2G028CG19 ,  2G028DH03 ,  2G028FK01 ,  2G028FK02 ,  2G028GL02 ,  2G028HM01 ,  2G028HM05 ,  2G028HM07 ,  2G028HN01 ,  2G028HN09 ,  2G028KQ01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電容量式変位計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-086350   出願人：日産自動車株式会社
• 特開昭61-014578