特許
J-GLOBAL ID:200903015209176397

インクジェットヘッドの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-113030
公開番号(公開出願番号):特開平8-300667
出願日: 1995年05月11日
公開日(公表日): 1996年11月19日
要約:
【要約】【目的】 溝内面に形成された電極の一部を効率よく選択的に除去すること。【構成】 圧電セラミックス基板1にインク室2となる溝を多数形成し、次に溝内の全表面に電極を形成する。そして、溝の底面に形成された電極に対して、波長1.06μmであるYAGレーザ光10を照射して、溝底面の電極を除去する。これにより、溝内の電極が分離されて、電極9が形成される。そして、圧電セラミックス基板1の溝加工側の面に、インク供給口を有する蓋が接着されて、インク室2が形成される。そのインク室2の一方の端にノズルが対応するように、ノズルプレートが圧電セラミックス基板1及び蓋の一端面に接着される。
請求項(抜粋):
少なくとも一部が圧電セラミックスで形成された側壁と、前記側壁に隔てられた複数の溝と、前記溝の一方の側面である側壁に形成された第一電極と、前記溝の他方の側面である側壁に形成された第二電極とを有するアクチュエータ部材と、前記アクチュエータ部材の前記溝を塞ぐカバー部材とを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、前記アクチュエータ部材の前記溝の内表面に電極を形成する第一工程と、前記溝の内表面に形成された電極に対して高エネルギービームを照射して、前記電極の一部を選択的に除去し、互いに電気的に分離した前記第一電極及び前記第二電極を溝内表面に形成する第二工程とからなることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A
引用特許:
審査官引用 (4件)
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