特許
J-GLOBAL ID：200903015276843217
スパッタリング用高純度BaxSr1-xTiO3-yターゲット材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-283201
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106257
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】 Ba<SB>x</SB> Sr<SB>1-x</SB> TiO<SB>3-y</SB> で表されるペロブスカイト型複合酸化物から成るスパッタリング用ターゲット材において、一層優れた誘電特性を示すと同時に、従来問題となっていたリーク電流を一層低減し、更に、ソフトエラーの発生を防止すること。【解決手段】 一般式Ba<SB>x</SB> Sr<SB>1-x</SB> TiO<SB>3-y</SB> (但し、0≦x<1、0≦y<0.5)で表されるペロブスカイト型複合酸化物から成るスパッタリング用ターゲット材において、Na、K、Mg、Fe、Ni、Co、Cr、Cu及びAlの群の各元素の含有量が1ppm以下、そしてU及びThの各元素の含有量が1ppb以下であることを特徴とするスパッタリング用ターゲット材。
請求項（抜粋）：
一般式Ba<SB>x</SB> Sr<SB>1-x</SB> TiO<SB>3-y</SB> (但し、0≦x<1、0≦y<0.5)で表されるペロブスカイト型複合酸化物から成るスパッタリング用ターゲット材において、Na、K、Mg、Fe、Ni、Co、Cr、Cu及びAlの群の各元素の含有量が1ppm以下、そしてU及びThの各元素の含有量が1ppb以下であることを特徴とするスパッタリング用ターゲット材。
IPC (4件)：
C04B 35/46
, C23C 14/34
, H01L 27/108
, H01L 21/8242
C04B 35/46 E
, C23C 14/34 A
, H01L 27/10 651
