特許
J-GLOBAL ID：200903015348912545
薄型基板の搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-316877
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162257
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 カセットに収納される薄型基板を、ロボットでその距離及び位置を検出し位置補正して、薄型基板のセンタリングを可能にすることによって、薄型基板の搬送時間を大幅に短縮する。【解決手段】 ガラス基板Wが収納されたカセット2と対向するようにロボット3が左右方向に移動可能に配設されている。ロボット3には、第1アーム5A、第2アーム5B、ハンドアーム5Cからなるロボットハンド5が配設され、ハンドアーム5Cに、ガラス基板Wの前端面に略平行に第1距離センサ13が取りつけられ、ロボット3の固定部に取りつけられる支持アームに支持されて、位置検出センサ14が配設されている。そして、ガラス基板の前後方向の位置ずれと角度ずれを第1距離センサ13で検出し、ガラス基板Wの左右方向の位置ずれを、位置検出センサ14で検出して、制御装置20を介してロボット3に補正をさせる。
請求項（抜粋）：
カセットに収納される薄型基板をセンタリングした後、次工程のカセットに搬送する薄型基板の搬送装置において、前記搬送装置内に配設されるカセットと、前記薄型基板を吸着して搬送するロボットハンドを備えるロボットと、前記ロボットハンドに、前記薄型基板の前面に対して略平行に少なくとも2か所に配置され、それぞれ、前記薄型基板前面との距離を検出する第1距離センサと、前記ロボット内に配置され、前記薄型基板側面端縁位置を検出する位置検出センサと、前記第1距離センサからの信号、及び位置検出センサからの信号を入力し、前記ロボットに信号を出力する制御装置と、を備え、前記制御装置が、前記第1距離センサで検出されるそれぞれの距離の差によって、薄型基板の所定の位置に対する前記ロボットハンドの移動補正量及び角度補正量を計算し、さらに、前記位置検出センサで検出される前記薄型基板の側面端縁の位置によって、前記ロボットの移動補正量を計算し、計算された前記移動補正量を前記ロボットに信号を出力することを特徴とする薄型基板の搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 13/08
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 F
, B25J 13/08 A
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
