流体制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：弁護士法人衞藤法律特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-253501
公開番号（公開出願番号）：特開2006-072574
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】半導体製造装置内等への設置、配管及び配線接続が容易であり、流体に腐食性流体を使用しても腐食が生じない流体制御装置を提供する。【解決手段】超音波を流体中に発信する第一超音波振動子(12)と、第一超音波振動子(12)から発信した超音波を受信し、信号を流量計アンプ部(58)に出力する第二超音波振動子(13)とを有する流量計センサ部(4)と、操作圧により流体の流量を調節する調節弁(5)とを具備し、少なくとも流量計センサ部(4)と調節弁(5)とを、流体流入口(3)と流体流出口(6)を有する1つのケーシング(2)内に接続して設置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

超音波を流体中に発信する第一超音波振動子(12)と、第一超音波振動子(12)から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部(58)に出力する第二超音波振動子(13)とを有する流量計センサ部(4)と、操作圧により流体の流量を調節する調節弁(5)とを具備し、少なくとも流量計センサ部(4)と調節弁(5)とが、流体流入口(3)と流体流出口(6)を有する1つのケーシング(2)内に接続されて設置されてなることを特徴とする流体制御装置。

IPC (2件)：

G05D 7/06 , F16K 31/128

FI (2件)：

G05D7/06 Z , F16K31/128

Fターム (24件)：

3H056AA01 , 3H056BB32 , 3H056BB36 , 3H056CA02 , 3H056CA07 , 3H056CB03 , 3H056CB07 , 3H056CD01 , 3H056DD04 , 3H056EE03 , 3H056GG04 , 3H056GG14 , 5H307AA01 , 5H307BB01 , 5H307DD02 , 5H307DD13 , 5H307DD17 , 5H307EE02 , 5H307EE06 , 5H307EE12 , 5H307FF03 , 5H307GG03 , 5H307GG11 , 5H307HH04

引用特許：

出願人引用 (6件)

純水流量の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-327309 出願人：シーケーディ株式会社
流体制御モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-358185 出願人：エヌティーインターナショナルインコーポレーテッド
超音波流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-293337 出願人：東京計装株式会社, 株式会社泉技研

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審査官引用 (5件)

純水流量の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-327309 出願人：シーケーディ株式会社
超音波流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-293337 出願人：東京計装株式会社, 株式会社泉技研
渦流量計
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-320643 出願人：横河電機株式会社

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