特許
J-GLOBAL ID：200903015385971594
超音波送受信デバイス,超音波探触子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-081897
公開番号（公開出願番号）：特開2007-259165
出願日： 2006年03月24日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：
【課題】リコン基板上に上部電極,下部電極間にギャップを設けた超音波送受信デバイスにおいて、静電駆動により振動させるギャップ上部膜の内部応力による反りを低減または調整を可能にする。【解決手段】超音波を送受信するために必要な空洞であるギャップ16より上方に位置する膜のうち、第4の絶縁膜19を圧縮応力の酸化シリコン膜に、第5の絶縁膜20を引張り応力の窒化シリコン膜とする。【効果】圧縮応力と引張応力が相殺し、ギャップ上部膜の反りが低減する。また、第4の絶縁膜19と第5の絶縁膜20の膜圧を調整すれば、反り量の調整が可能である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
超音波を送受信する超音波送受信デバイスにおいて、
半導体基板と、
前記半導体基板より上に設けられた下部電極と、
前記下部電極より上に設けられたギャップと、
前記ギャップの上に設けられた第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜よりも上に設けられる上部電極と、
前記上部電極より上に設けられた第4の絶縁膜と、
前記第4の絶縁膜上に設けられた第5の絶縁膜とを備え、
前記第4絶縁膜と、第5絶縁膜は、引張応力の膜と圧縮応力の組み合わせであることを特徴とする超音波送受信デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H04R19/00 330
, H04R31/00 330
5D019AA21
, 5D019DD01
, 5D019FF04
, 5D019HH01
