特許
J-GLOBAL ID:200903015430788780
形状測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
八田 幹雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-370107
公開番号(公開出願番号):特開2000-193429
出願日: 1998年12月25日
公開日(公表日): 2000年07月14日
要約:
【要約】【課題】 複雑な形状を持つ被測定物であっても安定して高精度に測定できる形状測定装置を提供する。【解決手段】 被測定面1aに対する角度の調整が可能な測距センサ10内に、レーザ光源11のレーザ光出射方向に関して互いに対称な左右の位置に二組の集光レンズ12a,12bとラインCCDカメラ13a,13bを配置し、これら二つのCCDカメラ13a,13bの受光強度を比較して、それらが一致するように測距センサ10の傾きを制御する。
請求項(抜粋):
レーザ光の反射を利用した三角測量方式により被測定物の表面形状を測定する形状測定装置において、レーザ光源と、該レーザ光源のレーザ光出射方向に関して互いに対称な左右の位置に配置された二つのアレイ型の受光素子とを備えた測距センサと、被測定面に対する前記測距センサの傾斜角を相対的に可変する回転機構と、前記二つの受光素子の受光強度を比較して、それらが一致するように前記回転機構を制御する制御手段と、を有することを特徴とする形状測定装置。
FI (2件):
G01B 11/24 A
, G01B 11/24 N
Fターム (25件):
2F065AA06
, 2F065AA52
, 2F065BB05
, 2F065CC11
, 2F065EE05
, 2F065FF09
, 2F065GG06
, 2F065GG12
, 2F065HH13
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065LL05
, 2F065PP03
, 2F065PP05
, 2F065PP22
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
, 2F065QQ42
, 2F065RR09
, 2F065TT02
, 2F065UU01
, 2F065UU02
, 2F065UU05
引用特許: