微小構造体、およびその製造方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平田忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114071
公開番号（公開出願番号）：特開平10-305488
出願日： 1997年05月01日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】形状精度が高く、特に、積層方向の高解像度化が可能で、直接金属あるいはセラミックス等の絶縁体で造形でき、さらに、複数の構造体要素が組み立てられた状態で一括して造形することが可能な微小構造体、およびその製造方法および装置を提供する。【解決手段】微小構造体を構成する複数の断面形状をそれぞれ有する複数の薄膜が形成された基板400を基板ホルダ301に載置し、基板ホルダ301を上昇させて基板400上に形成された薄膜をステージ302の表面に接合させ、基板ホルダ301を下降させると、薄膜が基板400から剥離してステージ302側に転写される。この転写を繰り返すことにより、ステージ302上に複数の薄膜が積層され、微小構造体が形成される。

請求項（抜粋）：