特許

J-GLOBAL ID：200903015461558243

気体清浄化用ケミカルフィルター

発明者： 藤原 護朗 ,  益田 光信 ,  入江 直樹
出願人/特許権者： 株式会社タクマ
代理人 (1件)： 中尾 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-320252
公開番号（公開出願番号）：特開平8-173725
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【目的】超高純度空間を形成するためのイオン交換繊維体および活性炭素からなるフィルター。【構成】陽イオン交換繊維および/または陰イオン交換繊維と、繊維状活性炭とを混合して構成する。繊維状活性炭の含有量は、陽イオン交換繊維に対し5〜30重量%が好ましい。また、フィルターの下流側に気体透過膜をラミネートしてフィルターからの発じんを抑止することができる。半導体産業や医療用などに用いられるクリーンルームやクリーンベンチなどの高度清浄空間を形成するのに効果的である。

請求項（抜粋）：

気体を清浄化するためのフィルターであって、陽イオン交換繊維および/または陰イオン交換繊維と、繊維状活性炭とが混合して構成されていることを特徴とする気体清浄化用ケミカルフィルター。

IPC (5件)：

B01D 39/14 ZAB ,  B01D 53/22 ZAB ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/81 ZAB ,  B01D 69/06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• クリーンルーム内の微量汚染空気の浄化方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-294501   出願人：日本原子力研究所, 株式会社荏原製作所