微細気泡ポリウレタン発泡体、微細気泡ポリウレタン発泡体シート及び、研磨パッド並びに、微細気泡ポリウレタン発泡体の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-074299
公開番号（公開出願番号）：特開2006-257178
出願日： 2005年03月16日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】安定した生産が可能な、気泡(気孔)を均一に分散させた微細気泡ポリウレタン発泡体を提供すること。さらに、この微細気泡ポリウレタン発泡体から、研磨特性が優れている研磨パッドを提供すること。【解決手段】イソシアネート基含有化合物を含む第1成分と活性水素基含有化合物を含む第2成分を主成分とする微細気泡ポリウレタン発泡体で、イソシアネート基含有化合物が下記条件を満たすことを特徴とする微細気泡ポリウレタン発泡体である。0.40Pa・s≦η80≦2.80Pa・s (η80:80°Cでの溶融粘度)Ea≦80kJ/mol (Ea:活性化エネルギー)また、研磨パッド用ポリウレタンシートの裏面に下地層を貼り合せることにより得た研磨パッド。【効果】本発明により、生産安定性が優れた微細気泡ポリウレタン発泡体を得ることができる。また、優れた研磨特性を有する研磨パッドが得られる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

イソシアネート基含有化合物を含む第1成分と活性水素基含有化合物を含む第2成分を主成分とする微細気泡ポリウレタン発泡体で、イソシアネート基含有化合物が下記条件を満たすことを特徴とする微細気泡ポリウレタン発泡体。 0.40Pa・s≦η80≦2.80Pa・s (η80:80°Cでの溶融粘度) Ea≦80kJ/mol (Ea:活性化エネルギー)

IPC (4件)：

C08G 18/72 , B24B 37/00 , C08G 18/00 , H01L 21/304

FI (4件)：

C08G18/72 Z , B24B37/00 C , C08G18/00 F , H01L21/304 622F

Fターム (45件)：

3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058CB04 , 3C058CB10 , 3C058DA12 , 3C058DA17 , 4J034BA08 , 4J034CA03 , 4J034CA14 , 4J034CB02 , 4J034CC03 , 4J034CC12 , 4J034CC61 , 4J034CC65 , 4J034CD08 , 4J034CD13 , 4J034DA01 , 4J034DB03 , 4J034DC50 , 4J034DF01 , 4J034DF03 , 4J034DF12 , 4J034HA01 , 4J034HC03 , 4J034HC12 , 4J034HC17 , 4J034HC46 , 4J034HC52 , 4J034HC61 , 4J034HC64 , 4J034HC67 , 4J034HC71 , 4J034HC73 , 4J034JA01 , 4J034JA12 , 4J034KA01 , 4J034KC17 , 4J034KE03 , 4J034MA17 , 4J034NA05 , 4J034PA05 , 4J034QB01 , 4J034QB16 , 4J034QD03 , 4J034RA14

引用特許：

出願人引用 (7件)

特許第3013105号公報
微細泡含有成形物の製造方法及び微細泡含有成形物用ウレタン樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-128717 出願人：大日本インキ化学工業株式会社
泡含有ポリウレタン成形物の製造方法、泡含有成形物用ウレタン樹脂組成物及びそれを用いた研磨パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-130154 出願人：大日本インキ化学工業株式会社

全件表示

前のページに戻る