特許
J-GLOBAL ID：200903015463827870
ガスセンサとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-025697
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218178
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 固体電解質の基板を用いたガスセンサにおいて、測定するガスや雰囲気温度による基板の劣化を防止し、センサの温度依存性を低減させるガスセンサを提供し、且つ、生産性の向上をも図る製造方法。【解決手段】 固体電解質からなる表裏面を有する基板2に、複数の電極層3と電気絶縁層5を設け、該電気絶縁層5上にヒータ6を設けたガスセンサであって、該電気絶縁層5を上記ヒータの加熱、冷却によって上記基板に反り等の歪みが生じないパターン又は厚みで、上記基板2の表裏面のいずれにも設けたもの、又は固体電解質の基板2の一方の表面に複数の電極3と、この電極以外の基板の両表面を電気絶縁層5で被覆し、この電気絶縁層5の上にヒータを設けたガスセンサ。
請求項（抜粋）：
固体電解質からなり、表裏面を有する基板に、複数の電極と電気絶縁層とを設け、該電気絶縁層上にヒータを設けたガスセンサであって、該電気絶縁層を該ヒータ等の加熱、冷却によって上記基板に反り等の歪みが生じないパターン又は厚みで、上記基板の表裏面のいずれにも設けたことを特徴とするガスセンサ。
IPC (4件)：
G01N 27/409
, G01N 27/12
, G01N 27/41
, G01N 27/416
G01N 27/58 B
, G01N 27/12 B
, G01N 27/46 325 H
, G01N 27/46 325 J
, G01N 27/46 371 G
