特許
J-GLOBAL ID：200903015468062871

熱処理装置

発明者：
齋藤 幸正

齋藤 幸正 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-230315
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045867
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：
【要約】【課題】 構造の簡素化を図ると共に長期的な膜厚再現性を得る。【解決手段】 熱処理装置1は、処理炉2内を所定の排気圧力で排気する排気系15と、該排気系15に設けられた開閉および圧力調節の可能な圧力可変バルブ25と、前記排気圧力を大気圧との差圧で検出する差圧計23と、気圧を絶対圧で検出する気圧計31と、前記差圧計23の検出圧力を基に排気系15が設定圧力になるように前記圧力可変バルブ25を制御すると共に前記気圧計31の検出圧力を基に前記差圧計23の検出圧力を補正する制御部32とを備えている。前記差圧計23が処理炉2内を大気開放することにより零点調整が可能に構成されている。
請求項（抜粋）：
処理炉内に被処理体を収容し、処理ガスを供給して所定の処理温度で熱処理する装置において、前記処理炉内を所定の排気圧力で排気する排気系と、該排気系に設けられた開閉および圧力調節の可能な圧力可変バルブと、前記排気圧力を大気圧との差圧で検出する差圧計と、気圧を絶対圧で検出する気圧計と、前記差圧計の検出圧力を基に排気系が設定圧力になるように前記圧力可変バルブを制御すると共に前記気圧計の検出圧力を基に前記差圧計の検出圧力を補正する制御部とを備え、前記差圧計が処理炉内を大気開放することにより零点調整が可能に構成されていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (9件)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/455 ,  F27B 5/16 ,  F27B 5/18 ,  F27D 7/06 ,  F27D 19/00 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22
FI (9件)：
H01L 21/31 E ,  C23C 16/455 ,  F27B 5/16 ,  F27B 5/18 ,  F27D 7/06 C ,  F27D 19/00 D ,  H01L 21/22 501 D ,  H01L 21/22 511 Q ,  H01L 21/22 511 S
Fターム (41件)：
4K030DA02 ,  4K030EA11 ,  4K030JA09 ,  4K030KA28 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  4K030LA15 ,  4K056AA09 ,  4K056BA01 ,  4K056BB05 ,  4K056CA18 ,  4K056FA10 ,  4K061AA01 ,  4K061AA05 ,  4K061BA11 ,  4K061FA07 ,  4K061GA04 ,  4K063AA05 ,  4K063AA12 ,  4K063BA12 ,  4K063CA03 ,  4K063CA08 ,  4K063DA15 ,  4K063DA19 ,  4K063DA33 ,  5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045AC11 ,  5F045AC13 ,  5F045AF01 ,  5F045BB01 ,  5F045BB10 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EC08 ,  5F045EG01 ,  5F045EG02 ,  5F045EG04 ,  5F045EG10 ,  5F045EK06 ,  5F045GB06
引用特許：
出願人引用 (5件)
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