特許
J-GLOBAL ID:200903015470442037

プラズマ式ガス浄化装置及びストリーマ放電回路

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-121171
公開番号(公開出願番号):特開2003-053129
出願日: 2002年04月23日
公開日(公表日): 2003年02月25日
要約:
【要約】【課題】 ストリーマ放電を利用するプラズマ式ガス浄化装置において、パルス電源を用いることなくストリーマ放電を発生させることにより、装置のコストダウンを図る。【解決手段】 針状の放電電極と面状の対向電極とが略直交する状態で対向配置されたプラズマ反応器において、放電電極の先端部(21a)に微細な針状突起(31)を設ける。放電電極と対向電極との間に電圧を印加する電源として、直流電圧を出力する直流電源を用いる。
請求項(抜粋):
針状の放電電極(21c)と、該放電電極(21c)に略直交する状態で対向して配置された面上の対向電極(22)と、正極側が上記放電電極(21c)に接続され且つ負極側が上記対向電極(22)に接続された電源(24)とを備え、上記放電電極(21c)と上記対向電極(22)とが被処理ガスの流通空間に配置され、上記電源(24)により該両電極(21c,22)間に電圧を印加してストリーマ放電を発生させることによって被処理ガスを浄化するプラズマ式ガス浄化装置であって、上記電源(24)は、直流電圧を出力するように構成され、上記放電電極(21c)の先端部(21a)には、1又は2以上の微細な針状突起(31)が設けられていることを特徴とするプラズマ式ガス浄化装置。
IPC (6件):
B01D 53/32 ,  A61L 9/00 ,  A61L 9/16 ,  A61L 9/18 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/24
FI (6件):
B01D 53/32 ,  A61L 9/00 C ,  A61L 9/16 D ,  A61L 9/18 ,  B01J 19/08 E ,  H05H 1/24
Fターム (33件):
4C080AA05 ,  4C080AA07 ,  4C080AA09 ,  4C080BB02 ,  4C080BB05 ,  4C080HH05 ,  4C080JJ03 ,  4C080KK02 ,  4C080KK08 ,  4C080LL10 ,  4C080MM02 ,  4C080MM04 ,  4C080MM05 ,  4C080MM06 ,  4C080MM07 ,  4C080QQ11 ,  4C080QQ17 ,  4G075AA03 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075CA15 ,  4G075CA54 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075EE33 ,  4G075FA01 ,  4G075FA08 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15
引用特許:
審査官引用 (5件)
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