特許
J-GLOBAL ID：200903015489687723

原子層蒸着によって製造されたプラスチック基板用のバリアフィルム

発明者：
カーシア,ピーター・フランシス

カーシア,ピーター・フランシス について

, 
マクリーン,ロバート・スコツト

マクリーン,ロバート・スコツト について


出願人/特許権者：
イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー

イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー について


代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-533109
公開番号（公開出願番号）：特表2007-516347
出願日： 2004年05月14日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
気体透過バリアを原子層蒸着(ALD)によってプラスチックまたはガラス基板上に蒸着することができる。ALDコーティングの使用によって、コーティング欠陥を減らすと共に数十ナノメートルの厚さにおいて桁違いに透過を低減させることができる。これらの薄いコーティングが、プラスチック基板の可撓性および透過性を保持する。かかる物品が、容器、電気および電子用途において有用である。
請求項（抜粋）：
a)プラスチックおよびガラスよりなる群から選択される材料から作製された基板と、 b)原子層蒸着によって前記基板上に蒸着された気体透過バリアとを含んでなる物品。
IPC (9件)：
C23C 16/455 ,  B32B 9/00 ,  H05B 33/02 ,  H05B 33/04 ,  H01L 51/50 ,  H01L 29/786 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/30 ,  H01L 51/40
FI (10件)：
C23C16/455 ,  B32B9/00 A ,  H05B33/02 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 619A ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 280 ,  H01L29/28 390
Fターム (52件)：
3K107AA01 ,  3K107CC23 ,  3K107DD12 ,  3K107DD16 ,  3K107DD18 ,  3K107DD60 ,  3K107EE43 ,  3K107EE45 ,  4F100AA12A ,  4F100AA19A ,  4F100AA20A ,  4F100AG00B ,  4F100AK01B ,  4F100AK01C ,  4F100AK42A ,  4F100AT00B ,  4F100EH46C ,  4F100EH66A ,  4F100GB16 ,  4F100GB41 ,  4F100JA11C ,  4F100JD02A ,  4F100JG01C ,  4F100JG10C ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA43 ,  4K030CA06 ,  4K030CA07 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11 ,  4K030LA16 ,  4K030LA18 ,  5F110AA21 ,  5F110CC03 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD12 ,  5F110EE02 ,  5F110FF03 ,  5F110GG05 ,  5F110GG42 ,  5F110HK02 ,  5F110HK33 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN35
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 国際公開第2001067504号パンフレット
  • 国際公開第9715070A2号パンフレット
  • 米国特許第5641984号明細書
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審査官引用 (8件)
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