特許
J-GLOBAL ID：200903015500903263

カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法

発明者：
川勝 英樹

川勝 英樹 について


出願人/特許権者：
科学技術振興事業団

科学技術振興事業団 について


代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-160482
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114182
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 構成が簡単で、的確な試料表面の検出が可能なカンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法を提供する。【解決手段】 カンチレバーアレイにおいて、試料1の表面2上を摺動する多数のコンプライアントなカンチレバー3を具備する。
請求項（抜粋）：
試料の表面上を摺動する多数のコンプライアントなカンチレバーを具備することを特徴とするカンチレバーアレイ。
IPC (8件)：
G01N 13/10 ZNM ,  G01N 13/10 ,  B82B 3/00 ,  G01B 11/30 ,  G01B 21/30 101 ,  G01N 13/16 ,  G02B 21/00 ,  G12B 21/02
FI (8件)：
G01N 13/10 ZNM A ,  G01N 13/10 C ,  B82B 3/00 ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 21/30 101 Z ,  G01N 13/16 C ,  G02B 21/00 ,  G12B 1/00 601 A
Fターム (31件)：
2F065AA01 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB01 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL37 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069DD19 ,  2F069DD27 ,  2F069GG07 ,  2F069HH02 ,  2F069HH09 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC27 ,  2H052AD02 ,  2H052AF11 ,  2H052AF14
引用特許：
審査官引用 (3件)

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