特許
J-GLOBAL ID：200903017241891009
ナノメートルオーダの機械振動子、その製造方法及びそれを用いた測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-156645
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091441
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 ナノメートルオーダの飛躍的な力や質量変化の検出分解能を有する安定で感度の高いナノメートルオーダの機械振動子、その製造方法及びそれを用いた測定装置を提供する。【解決手段】 ナノメートルオーダの機械振動子10は、ベース11、四面体形状の振動子マス13、ベース11と四面体形状の振動子マス13を連結する弾性部を有する頸部12からなる。この振動子10は、キノコ状であり、ナノメートルオーダである。振動子マス13は四面体形状であり、その振動子マス13を任意の試料表面にプローブとして近接させ、表面状態を観察する走査型力顕微鏡のプローブに適している。
請求項（抜粋）：
(a)ベースと、(b)長方形状の振動子マスと、(c)前記ベースと長方形状の振動子マスとを連結する弾性を有し、その主軸と直交する面で切った場合の断面が長方形状の頸部とを具備するナノメートルオーダの機械振動子。
IPC (12件)：
G01N 13/16
, B82B 1/00
, B82B 3/00
, G01B 21/30
, G01L 1/04
, G01N 13/10
, G01N 13/14
, G01P 3/12
, G01P 15/02
, G12B 21/08
, H01L 41/09
, H01L 41/08
G01N 13/16 C
, B82B 1/00
, B82B 3/00
, G01B 21/30 Z
, G01L 1/04
, G01N 13/10 C
, G01N 13/14 B
, G01P 3/12
, G01P 15/02 A
, G12B 1/00 601 D
, H01L 41/08 L
, H01L 41/08 U
, H01L 41/08 D
