特許
J-GLOBAL ID：200903015516067112
力学量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-039227
公開番号（公開出願番号）：特開2006-226770
出願日： 2005年02月16日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 側面から錘体の姿勢変化を検出するための静電容量素子における電極間の間隔を微小値に設定すること。 【解決手段】 加速度センサは、可動部構造体1を上部硝子基板2および下部硝子基板によって上下方向から挟み込んだ3層構造により構成されている。可動部構造体1には、フレーム14、梁15、錘体16が形成されている。そして、フレーム14と錘体16との間に形成された可動隙間に、錘体16の側面と対向する向きに側面電極4が設けられている。側面電極4は、下部硝子基板3の内壁面に、下部硝子基板3と直角をなすように固定されている。このように側面電極4を錘体16と別体に設けることにより、錘体16と側面電極4との隙間の間隔を小さく形成することができる。これにより、錘体16と側面電極4とで形成される静電容量素子における静電容量を増大させることができる。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
フレームと、
前記フレーム内に配設され、第1の端面と、前記第1の端面と対向する第2の端面と、前記フレームの内壁と対向し前記第1の端面と直交する側面と、を有する錘部と、
前記フレームと前記錘部とに固定された可撓性を有する梁部と、
前記側面と対向し、前記錘体と別体に形成された側面電極と、
前記側面と前記側面電極とにより形成された第1の静電容量素子の静電容量の変化に基づいて、前記錘部の姿勢変化を検出する検出手段と、
前記検出手段で検出された前記錘部の姿勢の変化量を力学量に変換する変換手段と、
を備えたことを特徴とする力学量センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
, G01P 15/18
G01P15/125 Z
, G01C19/56
, G01P9/04
, H01L29/84 Z
, G01P15/00 K
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105BB02
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112DA03
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA06
, 4M112EA13
, 4M112FA01
