特許
J-GLOBAL ID:200903015524933066

種結晶固定装置及び種結晶固定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-063036
公開番号(公開出願番号):特開2006-347868
出願日: 2006年03月08日
公開日(公表日): 2006年12月28日
要約:
【課題】種結晶配置部に対して種結晶表面を均等に圧着する種結晶固定方法及び種結晶固定装置を提供する。【解決手段】反応容器の種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、上記種結晶配置部を内部に配置可能とし密閉雰囲気を形成するチャンバーと、上記チャンバーに接続され前記チャンバー内に減圧雰囲気を形成する吸引機と、を備える種結晶固定装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
反応容器の種結晶配置部に接着剤を介して種結晶を固定するための種結晶固定装置であって、 前記種結晶配置部を内部に配置可能とし密閉雰囲気を形成するチャンバーと、 前記チャンバーに接続され前記チャンバー内に減圧雰囲気を形成する吸引機と、 を備えることを特徴とする種結晶固定装置。
IPC (2件):
C30B 23/06 ,  C30B 29/36
FI (2件):
C30B23/06 ,  C30B29/36 A
Fターム (11件):
4G077AA02 ,  4G077AA03 ,  4G077BE08 ,  4G077DA01 ,  4G077DA19 ,  4G077EA01 ,  4G077ED01 ,  4G077ED04 ,  4G077EG03 ,  4G077EG11 ,  4G077SA12
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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