特許
J-GLOBAL ID：200903059328476991
種結晶の固定方法および固定状態の評価方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318010
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119098
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】単結晶の成長において、種結晶と種結晶支持部とを接着させる際の接着不良が原因で発生するマクロ欠陥を抑制して単結晶の品質を向上させることができるようにする。【解決手段】種結晶1の表面層のうち種結晶支持部22と接着する面側を除去し、種結晶1の表面層が除去された側の新たな表面と種結晶支持部22とを接着剤30を介して接着する。ルツボ20内において、単結晶の原料23と種結晶1とを対向させて配置し、原料23を加熱昇華させて種結晶1から単結晶3を成長させる。
請求項（抜粋）：
種結晶支持部(22)に固定された種結晶(1)から単結晶(3)を成長させる際の種結晶の固定方法であって、種結晶(1)の表面層のうち種結晶支持部(22)と接着する面側を除去する工程と、種結晶(1)の表面層が除去された側の新たな表面(1b)と種結晶支持部(22)とを接着剤(30)を介して接着する工程と、からなることを特徴とする種結晶の固定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/36 A
, C30B 23/00
4G077AA02
, 4G077BE08
, 4G077DA18
, 4G077DA19
, 4G077ED01
, 4G077HA12
, 4G077SA04
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
