特許
J-GLOBAL ID：200903015533018850
平行平板型マイクロ静電アクチュエータ、マイクロ光路スイッチ、マイクロメカニカルスイッチおよびそれらの駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-093927
公開番号（公開出願番号）：特開2002-287045
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】静電駆動で可動電極の姿勢を制御する平行平板型マイクロアクチュエータであって、低い消費電力で駆動が可能であり、さらに傾斜姿勢以外にも基板に平行な姿勢を高速にとることができる平行平板型の静電アクチュエータを提供する。【解決手段】固定電極4を3個以上複数に分割して、可動電極3の運動時と姿勢保持状態とで駆動する固定電極4の面積を変えることができるようにし、さらに可動電極3を傾斜状態から別の傾斜状態に移行させる際に、移行途中に可動電極3が基板2と平行な状態で接触する全面当接状態を経由させることにより、動作効率の向上をはかり、消費電力の低減化を達成できる。
請求項（抜粋）：
基板上に配置された固定電極と、前記固定電極に微小な距離をおいて相対した可動電極を有し、前記固定電極と前記可動電極の間に電圧を印可することで発生する静電気力により前記可動電極を傾斜させるタイプの平行平板型マイクロ静電アクチュエータにおいて、前記可動電極は、ねじれ・伸縮の両方に対して十分弾性変形が可能なばね構造により支持され、前記基板の面上に、3個以上複数の固定電極を、前記可動電極の回転軸と垂直な方向に沿う形でかつ前記可動電極に対向する位置全体を覆う形で配置し、前記複数の固定電極の各電極はそれぞれが他と独立に電位を制御することを特徴とする平行平板型マイクロ静電アクチュエータ。
Fターム (5件)：
2H041AA13
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ05
