基板の位置合わせ組立装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：脇篤夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340113
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 2枚の基板を対向して形成される容器の位置合わせ、及び組立を自動化するための装置を提供する【解決手段】 10は中心部に配置されている基板移送ロボットで以下の装置部から基板を掴み、所定の場所に移動するようにしている。11は4〜10個の単位でカセットに入れられたカソード基板を搬入する第1の基板搬入部、12は同じくカセット化されたアノード基板を搬入する第2の基板搬入部、13は搬入された基板のクリーニングするクリーニング部、14はアノード基板と、カソード基板を重ねてクリップ等により仮止めする仮位置合わせ部、15は仮位置合わせされた一対の基板の基準マークを顕微鏡等による微細な映像画面に基づいて正確に上下の基板の位置決めを行う精密位置合わせ部、16は精密位置合わせ部15で位置合わせが完了した一対の基板を固定して搬出する基板搬出部を示す。

請求項（抜粋）：

平板状の基板を捕捉して予め設定されている領域に移送すると共に、当該領域内で基板を所定の位置に載置することができる基板移送ロボットと、平板状の第1基板と、第2の基板を搬入する基板搬入部と、前記第1及び第2の基板を重ねて仮止めする仮位置合わせ部と、前記仮止めされた第1及び第2の基板に形成されている位置マークに基づいて相互の重ね部分を精密に再調整する精密位置合わせ部と、上記精密位置合わせ部で位置決めされた第1,及び第2の基板を一体化して搬出する基板搬出部を備え、上記基板移送ロボットは互いに直交する2直線上を移動すると共に、前記第1、及び第2の基板の少なくとも一方の基板を保持したまま反転させる少なくとも3軸のロボットによって構成されており、上記基板搬入部、上記仮位置合わせ部、上記精密位置合わせ部、上記基板搬出部が上記基板移送ロボットを囲むように配置されていることを特徴とする基板の位置合わせ組立装置。

IPC (2件)：

H01J 9/26 , H01J 31/12

FI (2件)：

H01J 9/26 A , H01J 31/12 C

Fターム (10件)：

5C012AA05 , 5C012BC03 , 5C012BC04 , 5C036EE14 , 5C036EE15 , 5C036EE19 , 5C036EG12 , 5C036EG24 , 5C036EG28 , 5C036EH10

引用特許：

審査官引用 (2件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-069633 出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
特開昭58-063917

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