クリーンルーム用産業ロボット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：葛野信一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-139959
公開番号（公開出願番号）：特開平9-323285
出願日： 1996年06月03日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】移動台の走行動作に関わらず覆い体内の外気が吸引されてなる吸引気流が乱されず、安定した吸引作用により覆い体外に流出する塵がなくクリーンルームの清浄度を損なわないクリーンルーム用産業ロボットを得る。【解決手段】水平走行する移動台に柱体3を立設し、昇降動作する摺動体5を柱体3に係合して移動台の走行方向に沿う方向に配置しアームを装着する。また、柱体3及び摺動体5を囲み横断面において摺動体5の昇降動作に対応した空所を構成し、空所に摺動体5の一部を嵌合して移動台の走行方向に直交した摺動体5の直交面12との間に隙間13を形成した覆い体7を設ける。これにより、隙間13が摺動体5の直交面12に沿う方向に開口し、移動台走行による外気の覆い体7内への直接流入を抑制し、覆い体7内の吸引気流の乱れを減少する。

請求項（抜粋）：

水平方向に走行する移動台に立設された柱体と、この柱体に係合されて上記移動台の走行方向に沿う方向に突出して配置されて昇降動作する摺動体と、横断面において上記柱体及び摺動体を囲み上記移動台の走行方向に直交した上記摺動体の直交面との間に隙間を形成した覆い体とを備えたクリーンルーム用産業ロボット。

引用特許：

審査官引用 (3件)

搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-031056 出願人：有限会社オーエス技研工業
特表平2-655991
特表平2-655991

前のページに戻る