特許
J-GLOBAL ID：200903015585069968
電子放出素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-218403
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063461
出願日： 1995年08月28日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 製作の工数を増加させることなく、クロストークを防止する。【解決手段】 ベース電極1を備えたベース層2上に絶縁層3を介してゲート電極4を積層し、ゲート電極4と絶縁層3にベース層2に到達する凹所6を多数形成すると共に、凹所6内のそれぞれに、先端部7aが微小空隙8を介してゲート電極4に対向するエミッタ7を非良導体層9を介して突設して、ベース層2とゲート電極4間に電圧を印加させて、ゲート電極4と前記エミッタ7との間に形成される強電界によりエミッタ7から電子を放出させるようにした電子放出素子において、絶縁層3上であってゲート電極4と略同一平面内に、エミッタ7から放出される電子の拡がりを防止する収束用電極14を、ゲート電極4との間に隙間15を有するように配設した。
請求項（抜粋）：
ベース電極を備えたベース層上に絶縁層を介してゲート電極を積層し、該ゲート電極と絶縁層に前記ベース層に到達する凹所を多数形成すると共に、該凹所内のそれぞれに先端部が微小空隙を介して前記ゲート電極に対向するエミッタを非良導体層を介して突設して、前記ベース層と前記ゲート電極間に電圧を印加させて、前記ゲート電極と前記エミッタとの間に形成される強電界によりエミッタから電子を放出させるようにした電子放出素子において、前記絶縁層上であって前記ゲート電極と略同一平面内に、前記エミッタから放出される電子の拡がりを防止する収束用電極を、前記ゲート電極との間に隙間を有するように配設したことを特徴する電子放出素子。
引用特許：
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