特許

J-GLOBAL ID：200903015598575773

エネルギー分析器もしくはスピン回転器またはそれを含む電子光学系

発明者： 孝橋 照生 ,  松山 秀生
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201768
公開番号（公開出願番号）：特開平7-122231
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】 線径の大きな荷電粒子線にウィーンフィルタをエネルギー分析器やスピン回転器として適用できるように、磁極、電極間のほとんどの領域にわたって荷電粒子線が等方的に収束させるようにする。また出入口付近での電磁場の急激な変化によるビームの軌道の変化や形の歪みを解消する。【構成】 荷電粒子線を等方的に収束させる電磁場を広い領域にわたって作りだすために、磁極としては磁場のスカラーポテンシャルの形状を表す2本の双曲柱、電極として2本の角柱のほかに等電位線を平行、等間隔にする補助電極を挿入する。あるいは磁極として2本の角柱、電極として等電位面を表す2本の双曲柱を用いる。また出入口付近でも電極面を傾斜させたり端部電極を配置したりして電場をコントロールし、荷電粒子軌道を調節する。

請求項（抜粋）：

ビームの進行方向に直交し、互いにもほぼ直交する電場と磁場を有するとともに、前記磁場は、対面する磁極が2本の双曲柱又はそれを近似した角柱によって形成されることを特徴とするエネルギー分析器もしくはスピン回転器。

IPC (3件)：

H01J 49/48 ,  G21K 1/08 ,  H01J 37/05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-231866
  
• 特開平1-187753
  
• 特開平2-201855
  
• 特開昭62-073541