リード検査装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132811
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005568
出願日： 1994年06月15日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】リードを2方向から同時に検査できるリード検査装置を提供する。【構成】半導体装置1を保持する検査ステージ2と、半導体装置1の背面からリード1bに光を照射する光源5と、リード1bを観測する第1および第2のCCDカメラ3,4とから構成する。第1のCCDカメラ3は、光源5の対向位置に設けられてリード1bを観測する。第2のCCDカメラ4は、光源5からの光の一部をリード1bを有する面の外方向に反射する反射部6aからの反射光を受光して、第1のCCDカメラ3とは別の角度からリード1bを観測する。したがって、第1のCCDカメラ3によって、半導体装置1の実装面に対してほぼ垂直方向から、第2のCCDカメラ4によってほぼ水平方向からリード1bを観測することができるので、リード1bの曲がり、浮き、寸法不良、およびリード1bへの付着異物を同時に検出することができる。

請求項（抜粋）：

半導体装置の本体から延在されたリードの変形や付着異物の有無を検査するリード検査装置であって、前記半導体装置を所定位置に保持する検査ステージと、前記検査ステージに保持された前記半導体装置の背面側に位置させて設けられ、前記リードに光を照射する光源と、前記光源に対向して設けられ、前記半導体装置の前記リードを観測する第1の観測手段と、前記光源からの光の一部を前記半導体装置の前記リードを有する面の外方向に反射する反射部と、前記反射部からの反射光を受光して前記リードを前記第1の観測手段とは別の角度から観測する第2の観測手段とを有することを特徴とするリード検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24 , H05K 13/08

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭63-129700
特開平3-227551
特開昭63-107034

全件表示

前のページに戻る