特許

J-GLOBAL ID：200903015645343533

光学複合薄膜の形成方法およびそれを用いた光学物品

発明者： 村山 洋一 ,  柏木 邦宏
出願人/特許権者： 伊藤忠ファインケミカル株式会社 ,  村山 洋一 ,  柏木 邦宏
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-362927
公開番号（公開出願番号）：特開2001-295032
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 所望の屈折率を有し、膜設計を容易に行うことのできる光学複合薄膜を形成する方法と、これを用いた物品とを提供する。【解決手段】 フッ素化炭化水素含有の有機物ガスを導入した雰囲気下で、無機光学薄膜材料を反応性イオンプレーティングによって基板上に堆積させて無機光学薄膜の固有屈折率を変化させた光学複合薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

フッ素化炭化水素含有の有機物ガスを導入した雰囲気下で、無機光学薄膜材料を反応性イオンプレーティングによって基板上に堆積させて無機光学薄膜の固有屈折率を変化させた光学複合薄膜を形成することを特徴とする光学複合薄膜の形成方法。

IPC (10件)：

C23C 14/32 ,  C03C 17/245 ,  C03C 17/34 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/58 ,  G02B 1/11 ,  G02B 1/10

FI (10件)：

C23C 14/32 Z ,  C03C 17/245 A ,  C03C 17/34 Z ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 N ,  C23C 14/34 N ,  C23C 14/58 B ,  G02B 1/10 A ,  G02B 1/10 Z

Fターム (44件)：

2K009AA04 ,  2K009AA07 ,  2K009AA15 ,  2K009BB02 ,  2K009BB06 ,  2K009BB11 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC26 ,  2K009CC42 ,  2K009DD03 ,  2K009DD06 ,  2K009DD07 ,  4G059AA11 ,  4G059AB01 ,  4G059AB09 ,  4G059AB11 ,  4G059AB17 ,  4G059AC04 ,  4G059EA01 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EA04 ,  4G059EA05 ,  4G059EB02 ,  4G059EB03 ,  4G059EB04 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12 ,  4K029AA09 ,  4K029BA42 ,  4K029BA43 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DD02 ,  4K029GA03