特許
J-GLOBAL ID：200903015662019464
テーブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青山 葆
, 河宮 治
, 伊藤 晃
, 山本 俊則
, 中塚 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-215220
公開番号（公開出願番号）：特開2004-054180
出願日： 2002年07月24日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】小型で高精度の位置検出機能を有するテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブル装置Bはベース部材11に対向して配置され互いに平行でない2軸方向に前記ベース部材11に対して任意に移動可能な移動テーブル12,13,17と、発光部82X,82Yと受光部62X,62Yから構成され前記2軸方向における移動テーブルの位置をそれぞれ検出する一対の位置センサ82X,82Y,62X,62Yとを備える。前記各位置センサは、前記発光部と受光部のうちのどちらか一方が移動テーブル17に配置されており、かつ前記発光部と受光部の間の光路X,Yが前記移動テーブルの移動平面に平行でかつそれぞれの光路が互いに平行とならないように設けられている。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
ベース部材に対向して配置され互いに平行でない2軸方向に前記ベース部材に対して任意に移動可能な移動テーブルと、発光部と受光部から構成され前記2軸方向における移動テーブルの位置をそれぞれ検出する一対の位置センサとを備えるテーブル装置であって、
前記各位置センサは、前記発光部と受光部のうちのどちらか一方が移動テーブルに配置されており、かつ前記発光部と受光部の間の光路が前記移動テーブルの移動平面に平行でかつそれぞれの光路が互いに平行とならないように設けられていることを特徴とするテーブル装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2F065AA03
, 2F065CC00
, 2F065FF44
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ16
