特許
J-GLOBAL ID：200903015675844901
固体撮像装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-167672
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012854
出願日： 1996年06月27日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】マイクロレンズ付きの固体撮像装置の感度、スミアのレンズF値依存性を抑制する場合に、各平坦化樹脂層の界面での反射をなくし、感度の低下をなくす。【解決手段】平坦化樹脂層上にマイクロレンズ16が形成されている固体撮像装置において、平坦化樹脂層の屈折率を選択的に異ならせる。例えば、各光電変換素子(3)上部もしくはその近傍を含む上部の平坦化樹脂層15-1Aの屈折率を、それ以外の領域の平坦化樹脂層15-2Aの屈折率に比して小さくする。
請求項（抜粋）：
一主表面部に複数の光電変換素子が列状に配置された光電変換素子列及びこれに隣接し前記各光電変換素子から信号電荷を読み出して転送する手段でなる画素列を備えた半導体チップと、前記半導体チップを被覆する平坦化樹脂層と、前記各光電変換素子に対応して前記平坦化樹脂層上にそれぞれ設けられたマイクロレンズとを有する固体撮像装置において、前記平坦化樹脂層が前記マイクロレンズ中央部と光電変換素子とで挟まれた第1領域で第1の屈折率を有し、前記第1領域周囲の第2領域で前記第1の屈折率より大きな第2の屈折率を有する部分を有していることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, H01L 27/148
, H04N 5/335
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 U
, H01L 27/14 B
