赤外線加熱単結晶製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104246
公開番号（公開出願番号）：特開平7-315979
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：

【要約】【目的】従来の赤外線ランプに加えレーザ光を加熱源として配置することにより、結晶棒の微小口径化及び大口径化を可能にすると共に、品質の向上を図る。【構成】回転楕円面鏡11、12の焦点F1 、F2 に配置した赤外線ランプ13、14から焦点F0 の被加熱部15に集光して加熱すると共に、レーザ出射光学部22、23から焦点F0 の被加熱部15をレーザ照射して加熱し溶融帯域を形成する。この時、溶融帯域へのスポット的なレーザ照射により被加熱部の原料側及び結晶側固液界面付近の温度勾配を急峻にし、高温領域を狭くできる。その結果、被加熱部を安定維持でき、かつ赤外線ランプの照射光により、結晶側固液界面下方の結晶棒19での温度勾配を小さくでき良質な微小口径単結晶を育成できる。更に、レーザ出射光学部の前後動によりレーザ光の焦点を変えて溶融帯域の長さを調節することにより、良質な大口径単結晶を育成できる。

請求項（抜粋）：

回転楕円面鏡の一方の焦点に赤外線ランプを、前記回転楕円面鏡の他方の焦点に被加熱部を配置すると共に、更に前記被加熱部を照射するようにレーザ出射光学部を配置して、原料棒を加熱溶融させて単結晶棒を育成させる赤外線加熱単結晶製造装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

単結晶育成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-157987 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭62-046990
特開平3-045586

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